多功效薄膜沉积设备(SPE)
多功效薄膜沉积设备(SPE)
技术特点 Features
· 将真空蒸镀、反应式等离子镀膜、磁控溅射三大镀膜�？檎铣梢惶�，三种镀膜技术可同时独立运行，实验开机率媲美三台设备，产能高。
· 实现蒸镀、RPD、PVD 真空连镀工艺，提供多种组合镀膜，落实叠层钙钛矿层工艺一步到位，有利于膜层界面优化、减少装卸、传输损伤，有利于量产设备的提效降本。
· 接纳与量产工艺统一的移动镀膜模式，提高未来扩产乐成率、减少大尺寸量产危害。
· 自主程序设计、人性化操作界面；多层级权限设定，信息保密；严谨完善的宁静设计，防呆功效周密；绿色环保、节能设计 。
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反应式等离子体镀膜设备 (RPD)
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全自动石墨舟装卸片机
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