½üÈÕ£¬918²©ÌìÌÃTOPConÕûÏßÉ豸³Â¹æÄ£Ë³Àû³ö»õ£¬±È¶©µ¥³ö»õ¼Æ»®ÌáǰÁ˽üÒ»¸öÔ£¬ÇÒÔÚ½ËÕÈóÑô¿Í»§ÏÖ³¡ÅÀÆÂÁ¿²úÔËÐУ¬»ñµÃÁ˿ͻ§µÄ³ä·Ö¿Ï¶¨¼°ºÃÆÀ£¬Õâ±ê¼Ç×ÅÎÒ˾ÒÑÍêÈ«¾ß±¸ÁËTOPConµÄPE-Poly·ÏßÕûÏßÉ豸µÄ¹©Ó¦ÄÜÁ¦£¬ÊÇÎÒ˾¡°¼¼ÊõÁìÏÈ¡¢ÖÎÀíÁìÏÈ¡¢Ð§ÀÍÁìÏÈ¡±Õ½ÂÔµÄÓÖÒ»´ÎÀֳɴ´¾Ù¡£
918²©ÌìÌÃTOPConµÄPE-PolyÕûÏßÉ豸£¬ÔÚPERCµç³ØÉ豸µÄ»ù´¡ÉÏ£¬Ö÷ÒªÔö¼ÓÁËTunnel oxide¡¢Poly-Si¡¢ÕýÃæÄ¤É豸£¬¸Ã¼¼Êõ½¹µã¼Æ»®ÍêÃÀʵÏÖÁËËí´©²ã¡¢Poly²ã¡¢Ôλ²ôÔÓ²ãµÄ¡°ÈýºÏÒ»¡±ÖƱ¸£¬²»µ«½â¾öÁ˹ŰåTOPConµç³ØÉú²úÀú³ÌÖÐÈÆ¶Æ¡¢Äܺĸߡ¢Ê¯Ó¢¼þ¸ßËðºÄµÄ¹ÌÓÐÄѵ㣬²¢ÇÒÐÂÐÍPE-poly·ÏßµÄÔλ²ôÔÓʱ¼ä½öΪ¹Å°åLP·ÏßµÄÎå·ÖÖ®Ò»¡£¸Ã¼¼Êõ·ÏßµÄÕýÃæÄ¤ÂÊÏÈʵÏÖÐÂÐͶþºÏһģʽ¡¢±³ÃæPolyʵÏÖÏȽøÈýºÏһģʽÁ¿²ú£¬´Ó²úÆ·Á¼Âʵ½×ª»»Ð§ÂÊÒѾ߱¸Ã÷ÏÔÓÅÊÆ£»²¢ÇÒ´ÓÉ豸Ͷ×ʵ½·Ç¹è±¾Ç®£¬ÒѾ߱¸¶Ô¹Å°åTOPCon·Ïߵļ«´ó¾ºÕùÓÅÊÆ¡£¸Ã¼¼ÊõʵʩÖÐÓ¦ÓõÄ918²©ÌìÌÃÈ«ÐÂÅðÀ©É¢É豸£¬Æ¾½èÓÅÒìµÄ¼¼ÊõÐÔÄܺ͹¤ÒÕÄÜÁ¦£¬ÔÚ¾ùÔÈÐÔ¡¢¶Èµç±¾Ç®¡¢×ª»¯Ð§ÂʵÈÖ¸±ê·½ÃæÃ÷ÏÔ´¦ÓÚ¾ºÕùÓÅÊÆ£¬ÓÐЧÌá¸ßÁËTOPConµç³ØµÄ¾ºÕùÁ¦¡£ÎÒ˾ÔڹŰåµÄLPCVD¼¼Êõ·ÏßÉÏ£¬ÎÞÂÛ´Ó²úÄÜ»ò¼¼ÊõÐÔÄܶ¼ÒÑÓÅÓÚµÐÊÖ£¬ÔÚ´Ë»ù´¡ÉÏÎÒ˾µÄPE-Poly¼¼Êõ·ÏßÒ²ÒÑÀÖ³ÉÍÆ¶¯¿Í»§Ó¦Óõı¾Ç®ÓÅÊÆ¡¢Í¶×ÊÓÅÊÆ¡¢Ð§ÂÊÓÅÊÆ¡¢Á¼ÂÊÓÅÊÆµÈ£¬¿É½øÒ»²½¼ÓËÙTOPConµç³ØµÄ´ó¹æÄ£¹¤Òµ»¯£¬µÓÚ¨918²©ÌìÌÃÔÚTOPCon¸ßЧµç³Ø×¨ÓÃÉ豸¼°¼¼ÊõÁìÓòµÄÏȽøÖ°Î»¡£